高密度反応性大気圧熱プラズマジェットによる有機材料の超高速エッチング | 広島大学

〇大気圧熱プラズマジェットに反応性ガスを添加しエッチングに応用. 〇ミリ秒加熱とエッチング反応の融合という新しいプロセスの実現.関連キーワードはありません